PECVD-печь

1.Тип: двухзонная система PECVD слайдерного типа на 1200 градусов.
2.Номер фазы:Однофазный
3.Тип термопары: тип K
4. Модель: TOB-DSP-1200 степень -PECVD
5.Минимальный заказ:1 комплект

Отправить запрос

Теперь говорите

Внедрение продукции

Двухзонная система PECVD ползункового типа на 1200 градусов

Спецификация

Модель	ТОБ-ДСП-1200 степень -PECVD-I	ТОБ-ДСП-1200 степень -PECVD-II		ТОБ-ДСП-1200 степень -PECVD-III	ТОБ-ДСП-1200 степень -PECVD-IV
Власть	3кВт	3кВт		4кВт	4кВт
Размер трубы печи (мм)	Диаметр 60 (наружный диаметр) X1800 мм	Диаметр 80 (наружный диаметр) X1800 мм		Диаметр 100 (наружный диаметр) X1800 мм	Диаметр 120 (наружный диаметр) X1800 мм
Измерение	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Напряжение питания	220V
Номер фазы	Один этап
Режим управления	Юдиан контроль температуры 30 секций могут использовать только ПИД-регулирование температуры. Контроль температуры FP93 (из Японии) (Замена импортных инструментов, за дополнительную плату) 1,40-секционная программа контроля температуры может быть разделена на 4,2,1-групповую программу, если программа разделена на четыре группы, каждый программный сегмент 10, 2,6-групповое ПИД-регулирование, низкая, средняя и высокая температура, каждая из которых может иметь набор ПИД-регуляторов, так что каждый сегмент способен очень точно контролировать температуру.
Режим контроля температуры	Интеллектуальный ПИД-регулятор
Защита от выгорания и отображение	Да
Защита от перегрева	Да
Защита от сверхтока	Да
Точность управления	+/- 1 градус
Курок	Фазовый триггер
СКР	106/16E Германия Саймон Канг
Максимальная температура температурной зоны 1,2	1200 градусов
Температурная зона 1,2 Номинальная температура	1150 градусов
Степень нагрева	Меньше или равно 30 градусов/мин (доступно по запросу)
Рекомендуемая скорость нагрева	Меньше или равно 15 градусов/мин.
Тип термопары	Тип К
Длина нагрева температурной зоны 1,2	205 мм
Температура окружающей поверхности	Меньше или равен 45 градусам
Плазменная радиочастотная мощность	Диапазон выходной мощности		0-500W
	Максимальная отраженная мощность		10W
	Частота сигнала		13,56 МГц ± 0,005%
	Шум		<30 dB
	Воздушное охлаждение		метод охлаждения
	Входная мощность		208-240В 50/60 Гц
Основные параметры системы питания GX	Стандартный диапазон		Контроллер потока протонов 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (вы можете выбрать любой масштаб)
	Точность		± 1.5%
	Падение давления		<0.01MPa
	Повторяемость		± 0.2% F.S
	Макс Рабочее давление		3 МП
Выхлопная система VS-0.1	источник питания		220V / 380V 380W
	Скорость откачки		2L / S
	Вакуумметр сопротивления		ЗДР-И
	Диапазон измерения вакуума		0.1-10 5 Па
	Вакуумный насос		ВРД-8
	Гофрированная труба		КФ25Х1000мм
	Вакуумная система		10 -1Па