CVD-печь с псевдоожиженным слоем

Модель:TOB-1200-LTS-FB
TOB-1200-LTS-FB — это CVD-печь с псевдоожиженным слоем для поверхностного осаждения порошка. Газ поступает в нижнюю часть кварцевой трубки и проходит вверх через пористую кварцевую пластину, удерживая порошок внутри зоны нагрева 200 мм . 1200 градусов менее чем за 1 час при непрерывной температуре 1150 градусов.

Отправить запрос

Теперь говорите

Внедрение продукции

Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd. является одним из самых надежных производителей и поставщиков CVD-печей с псевдоожиженным слоем в Китае. Добро пожаловать на покупку высококачественной печи CVD с псевдоожиженным слоем по конкурентоспособной цене на нашем заводе. Если у вас есть какие-либо вопросы о сотрудничестве, пожалуйста, напишите нам.

CVD-печь с псевдоожиженным слоем

Спецификация

Обзор продукта

TOB-1200-LTS-FB — это CVD-печь с псевдоожиженным слоем, созданная для экспериментов по осаждению порошка на поверхность. Трубка из кварца высокой чистоты несет в нижней части пластину пористого кварца; порошок располагается на этой пластине, газ подается снизу трубки, а восходящий поток через пластину поднимает частицы так, что они плавают внутри нагретой зоны, пока происходит осаждение.

Печь достигает 1200 градусов менее чем за 1 час и постоянно поддерживает температуру 1150 градусов, с зоной нагрева 200 мм и зоной постоянной температуры 100 мм. Трубка доступна диаметром 25 мм или 50 мм и длиной 600 мм, а пористая пластина изготавливается с размером пор, необходимым вашему порошку. Двухслойный кожух с воздушным охлаждением, разделенный корпус печи для замены трубок, кварцевый кожух трубки и механический предохранительный клапан входят в стандартную комплектацию.

Ключевые инженерные характеристики TOB-1200-LTS-FB

Специально разработан для нанесения порошка:пористая кварцевая пластина и донный газоотвод существуют для того, чтобы частицы взвешивались в нагретой зоне, а не просто помещались в нее.

Двухслойный корпус с воздушным охлаждением:внешняя оболочка остается прохладнее, чем в одностенной печи с той же температурой в камере.

Разъемный, открывающийся корпус печи:корпус открывается, что позволяет заменить кварцевую трубку, не разбирая печь.

Защита кварцевой трубки:Защитный экран вокруг трубки предотвращает травмы, если кварц разрушается под действием вакуума или термического удара.

Механический предохранительный клапан сброса давления:защищает от избыточного давления в случае засорения пластины фильтра из пористого кварца.

Алюминиевая камера с высокотемпературным покрытием:изоляция из волокна оксида алюминия высокой чистоты с импортным из США покрытием из высокотемпературного оксида алюминия на поверхности камеры для более высокой эффективности нагрева и увеличения срока службы камеры.

Нагревательные элементы из сплава HRE:1200 градусов достигается менее чем за 1 час, 1150 градусов непрерывно, точность ±1 градус на термопаре типа К.

Уплотнительный узел из нержавеющей стали:Фланец с двойным силиконовым уплотнительным кольцом в стандартной комплектации, с дополнительными насосными агрегатами до 5 × 10⁻¹ Па (механический) или 5 × 10⁻³ Па (турбо).

Полные характеристики

1. Корпус печи и тепловые характеристики

Параметр	Спецификация
Мощность оборудования	110 В 1,2 кВт
Материал камеры	Материал из глиноземного волокна высокой чистоты
Нагревательный элемент	HRE проволока из жаропрочных сплавов
Максимальная температура	1200 градусов (менее чем за 1 час)
Постоянная температура	1150 градусов (непрерывный)
Точность температуры	±1 градус
Термопара	Термопара типа К
Максимальная скорость нагрева	Меньше или равна 20 град/мин.
Размер камеры	80 мм × 200 мм
Длина зоны нагрева	200mm
Длина зоны постоянной температуры	100mm

2. Кварцевая трубка и пористая пластина.

Параметр	Спецификация
Размер трубки	Φ25 мм или 50 мм × 600 мм
Материал трубки	Специально изготовленная кварцевая трубка высокой чистоты
Размер пор пористой кварцевой пластины	4–550 мкм, доступны и настраиваются различные спецификации

3. Вакуумная и герметичная система.

Элемент	Спецификация
Система уплотнений	Стандарт: один комплект двойных силиконовых уплотнительных колец из нержавеющей стали, с механическим предохранительным клапаном сброса давления и защитным кожухом кварцевой трубки.
Вакуумный механический насосный агрегат	5 × 10⁻¹ Па (опционально)
Вакуумный турбонасосный агрегат	5 × 10⁻³ Па (опционально)

4. Размеры, вес и гарантия.

Элемент	Спецификация
Внешние размеры	510 мм × 430 мм × 1000 мм
Вес нетто	Около 35 кг
Гарантия	Гарантия один год, пожизненная техническая поддержка.

5. Расходные материалы и исключения из гарантии

Элемент	Деталь
Расходные материалы не включены	Нагревательный элемент, термопара, тигель для проб и аналогичные расходные детали не входят в комплект поставки.
Коррозионные и кислотные газы	Гарантия не распространяется на повреждения, вызванные использованием агрессивных и кислотных газов.

Система управления

Контроллер работает на встроенной операционной системе с 7-дюймовым полноцветным сенсорным экраном. Для повторяемости порошковой CVD-обработки важны четыре функции:

Функция	Деталь
Сохраненные температурные кривые	Можно заранее сохранить 15 температурных кривых, поэтому не придется заново настраивать другой экспериментальный процесс.
Встроенная операционная система	Переключаемый графический интерфейс на китайском/английском языках, 7-дюймовый полноцветный сенсорный экран, интеллектуальный режим диалога между человеком и машиной.
Нелинейная температурная коррекция	Нелинейная коррекция температуры образца для приведения отображаемого значения в соответствие с измеренной температурой образца.
Начало по расписанию	Доступна в качестве дополнительной функции, поэтому запуск можно настроить в выбранное время.
Защита системы	Сигнализация перегрева, индикация разрыва термопары и защита от утечек.

Снимки экрана ниже соответствуют порядку строк выше: сохраненная библиотека кривых, редактор кривых, переключаемый интерфейс, нелинейная коррекция, запуск по расписанию и два сигнала тревоги защиты.

TOB-1200-LTS-FB fluidized bed CVD furnace with vertical quartz tube and split furnace body